TY - RPRT TI - Roadmap for focused ion beam technologies AU - Katja Höflich AU - Gerhard Hobler AU - Frances I. Allen AU - Tom Wirtz AU - Gemma Rius AU - Lisa McElwee-White AU - Arkady V. Krasheninnikov AU - Matthias Schmidt AU - Ivo Utke AU - Nico Klingner AU - Markus Osenberg AU - Rosa Córdoba AU - Flyura Djurabekova AU - Ingo Manke AU - Philip Moll AU - Mariachiara Manoccio AU - José Marıa De Teresa AU - Lothar Bischoff AU - Johann Michler AU - Olivier De Castro AU - Anne Delobbe AU - Peter Dunne AU - Oleksandr V. Dobrovolskiy AU - Natalie Frese AU - Armin Gölzhäuser AU - Paul Mazarov AU - Dieter Koelle AU - Wolfhard Möller AU - Francesc Pérez-Murano AU - Patrick Philipp AU - Florian Vollnhals AU - Gregor Hlawacek PY - 2023 UR - https://arxiv.org/abs/2305.19631 ID - 2305.19631 ER -