TY  - RPRT
TI  - Combinatorial Reactive Sputtering with Auger Parameter Analysis Enables Synthesis of Wurtzite Zn2TaN3
AU  - Siarhei Zhuk
AU  - Alexander Wieczorek
AU  - Amit Sharma
AU  - Jyotish Patidar
AU  - Kerstin Thorwarth
AU  - Johann Michler
AU  - Sebastian Siol
PY  - 2023
DO  - 10.1021/acs.chemmater.3c01341
UR  - https://arxiv.org/abs/2305.19875
ID  - 2305.19875
ER  -