TY  - RPRT
TI  - High-quality amorphous Silicon Carbide for hybrid photonic integration at low temperature
AU  - Bruno Lopez-Rodriguez
AU  - Roald Van Der Kolk
AU  - Samarth Aggarwal
AU  - Naresh Sharma
AU  - Zizheng Li
AU  - Daniel Van Der Plaats
AU  - Thomas Scholte
AU  - Jin Chang
AU  - Silvania F. Pereira
AU  - Simon Groeblacher
AU  - Harish Bhaskaran
AU  - Iman Esmaeil Zadeh Zadeh
PY  - 2023
UR  - https://arxiv.org/abs/2306.04491
ID  - 2306.04491
ER  -