TY - RPRT TI - Coherent X-ray Spectroscopy Elucidates Nanoscale Dynamics of Plasma-Enhanced Thin-Film Growth AU - Peco Myint AU - Jeffrey M. Woodward AU - Chenyu Wang AU - Xiaozhi Zhang AU - Lutz Wiegart AU - Andrei Fluerasu AU - Randall L. Headrick AU - Charles R. Eddy, Jr. AU - Karl F. Ludwig PY - 2023 UR - https://arxiv.org/abs/2306.13779 ID - 2306.13779 ER -