TY  - RPRT
TI  - PECVD and PEALD on polymer substrates (Part II): Understanding and tuning of barrier and membrane properties of thin films
AU  - Teresa de los Arcos
AU  - Peter Awakowicz
AU  - Marc Böke
AU  - Nils Boysen
AU  - Ralf Peter Brinkmann
AU  - Rainer Dahlmann
AU  - Anjana Devi
AU  - Denis Eremin
AU  - Jonas Franke
AU  - Tobias Gergs
AU  - Jonathan Jenderny
AU  - Efe Kemaneci
AU  - Thomas D. Kühne
AU  - Simon Kusmierz
AU  - Thomas Mussenbrock
AU  - Jens Rubner
AU  - Jan Trieschmann
AU  - Matthias Wessling
AU  - Xiaofan Xie
AU  - David Zanders
AU  - Frederik Zysk
AU  - Guido Grundmeier
PY  - 2023
UR  - https://arxiv.org/abs/2306.14797
ID  - 2306.14797
ER  -