TY  - RPRT
TI  - Non-invasive digital etching of van der Waals semiconductors
AU  - Jian Zhou
AU  - Chunchen Zhang
AU  - Li Shi
AU  - Xiaoqing Chen Tae-Soo Kim
AU  - Minseung Gyeon
AU  - Jian Chen Jinlan Wang
AU  - Linwei Yu Xinran Wang Kibum Kang
AU  - Emanuele Orgiu
AU  - Paolo Samorì
AU  - Kenji Watanabe
AU  - Takashi Taniguchi
AU  - Kazuhito Tsukagoshi
AU  - Peng Wang
AU  - Yi Shi
AU  - Songlin Li
PY  - 2023
DO  - 10.1038/s41467-022-29447-6
UR  - https://arxiv.org/abs/2306.15139
ID  - 2306.15139
ER  -