TY  - RPRT
TI  - High-Q trenched aluminum coplanar resonators with an ultrasonic edge microcutting for superconducting quantum devices
AU  - E. V. Zikiy
AU  - A. I. Ivanov
AU  - N. S. Smirnov
AU  - D. O. Moskalev
AU  - V. I. Polozov
AU  - A. R. Matanin
AU  - E. I. Malevannaya
AU  - V. V. Echeistov
AU  - T. G. Konstantinova
AU  - I. A. Rodionov
PY  - 2023
UR  - https://arxiv.org/abs/2306.16301
ID  - 2306.16301
ER  -