TY  - RPRT
TI  - Lithium tantalate electro-optical photonic integrated circuits for high volume manufacturing
AU  - Chengli Wang
AU  - Zihan Li
AU  - Johann Riemensberger
AU  - Grigory Lihachev
AU  - Mikhail Churaev
AU  - Wil Kao
AU  - Xinru Ji
AU  - Terence Blesin
AU  - Alisa Davydova
AU  - Yang Chen
AU  - Xi Wang
AU  - Kai Huang
AU  - Xin Ou
AU  - Tobias J. Kippenberg
PY  - 2023
DO  - 10.1038/s41586-024-07369-1
UR  - https://arxiv.org/abs/2306.16492
ID  - 2306.16492
ER  -