TY  - RPRT
TI  - PECVD and PEALD on polymer substrates (part I): Fundamentals and analysis of plasma activation and thin film growth
AU  - Teresa de los Arcos
AU  - Peter Awakowicz
AU  - Jan Benedikt
AU  - Beatrix Biskup
AU  - Marc Böke
AU  - Nils Boysen
AU  - Rahel Buschhaus
AU  - Rainer Dahlmann
AU  - Anjana Devi
AU  - Tobias Gergs
AU  - Jonathan Jenderny
AU  - Achim von Keudell
AU  - Thomas D. Kühne
AU  - Simon Kusmierz
AU  - Hendrik Müller
AU  - Thomas Mussenbrock
AU  - Jan Trieschmann
AU  - David Zanders
AU  - Frederik Zysk
AU  - Guido Grundmeier
PY  - 2023
UR  - https://arxiv.org/abs/2307.00011
ID  - 2307.00011
ER  -