TY  - RPRT
TI  - Experimental validation of particle-in-cell/Monte Carlo collisions simulations in low-pressure neon capacitively coupled plasmas
AU  - Chan-Won Park
AU  - Benedek Horváth
AU  - Aranka Derzsi
AU  - Julian Schulze
AU  - J. H. Kim
AU  - Zoltán Donkó
AU  - Hyo-Chang Lee
PY  - 2023
UR  - https://arxiv.org/abs/2307.14821
ID  - 2307.14821
ER  -