TY  - RPRT
TI  - Characterization of superconducting through-silicon vias as capacitive elements in quantum circuits
AU  - Thomas M. Hazard
AU  - Wayne Woods
AU  - Danna Rosenberg
AU  - Rabi Das
AU  - Cyrus F. Hirjibehedin
AU  - David K. Kim
AU  - Jeffery Knecht
AU  - Justin Mallek
AU  - Alexander Melville
AU  - Bethany M. Niedzielski
AU  - Kyle Serniak
AU  - Katrina M. Sliwa
AU  - Donna Ruth-Yost
AU  - Jonilyn L. Yoder
AU  - William D. Oliver
AU  - Mollie E. Schwartz
PY  - 2023
UR  - https://arxiv.org/abs/2308.00834
ID  - 2308.00834
ER  -