TY  - RPRT
TI  - Super stealth dicing of transparent solids with nanometric precision
AU  - Zhen-Ze Li
AU  - Hua Fan
AU  - Lei Wang
AU  - Xu Zhang
AU  - Xin-Jing Zhao
AU  - Yan-Hao Yu
AU  - Yi-Shi Xu
AU  - Yi Wang
AU  - Xiao-Jie Wang
AU  - Saulius Juodkazis
AU  - Qi-Dai Chen
AU  - Hong-Bo Sun
PY  - 2024
DO  - 10.1038/s41566-024-01437-8
UR  - https://arxiv.org/abs/2308.02352
ID  - 2308.02352
ER  -