TY  - RPRT
TI  - Improved placement precision of implanted donor spin qubits in silicon using molecule ions
AU  - Danielle Holmes
AU  - Benjamin Wilhelm
AU  - Alexander M. Jakob
AU  - Xi Yu
AU  - Fay E. Hudson
AU  - Kohei M. Itoh
AU  - Andrew S. Dzurak
AU  - David N. Jamieson
AU  - Andrea Morello
PY  - 2023
DO  - 10.1002/qute.202300316
UR  - https://arxiv.org/abs/2308.04117
ID  - 2308.04117
ER  -