TY  - RPRT
TI  - Superconducting TSV contact for cryoelectronic devices
AU  - Ivan Filippov
AU  - Alexandr Anikanov
AU  - Aleksandr Rykov
AU  - Alexander Mumlyakov
AU  - Maksim Shibalov
AU  - Igor Trofimov
AU  - Nikolay Porokhov
AU  - Yuriy Anufriev
AU  - Michael Tarkhov
PY  - 2023
UR  - https://arxiv.org/abs/2308.06000
ID  - 2308.06000
ER  -