TY  - RPRT
TI  - Automated Semiconductor Defect Inspection in Scanning Electron Microscope Images: a Systematic Review
AU  - Thibault Lechien
AU  - Enrique Dehaerne
AU  - Bappaditya Dey
AU  - Victor Blanco
AU  - Sandip Halder
AU  - Stefan De Gendt
AU  - Wannes Meert
PY  - 2023
UR  - https://arxiv.org/abs/2308.08376
ID  - 2308.08376
ER  -