TY - RPRT TI - Highly ${ }^{28} \mathrm{Si}$ Enriched Silicon by Localised Focused Ion Beam Implantation AU - Ravi Acharya AU - Maddison Coke AU - Mason Adshead AU - Kexue Li AU - Barat Achinuq AU - Rongsheng Cai AU - A. Baset Gholizadeh AU - Janet Jacobs AU - Jessica L. Boland AU - Sarah J. Haigh AU - Katie L. Moore AU - David N. Jamieson AU - Richard J. Curry PY - 2023 UR - https://arxiv.org/abs/2308.12471 ID - 2308.12471 ER -