TY  - RPRT
TI  - In-situ Plasma Studies using a Direct Current Microplasma in a Scanning Electron Microscope
AU  - Lukas Grünewald
AU  - Dmitry Chezganov
AU  - Robin De Meyer
AU  - Andrey Orekhov
AU  - Sandra Van Aert
AU  - Annemie Bogaerts
AU  - Sara Bals
AU  - Jo Verbeeck
PY  - 2023
DO  - 10.1002/admt.202301632
UR  - https://arxiv.org/abs/2308.15123
ID  - 2308.15123
ER  -