TY  - RPRT
TI  - "Zero change" platform for monolithic back-end-of-line integration of phase change materials in silicon photonics
AU  - Maoliang Wei
AU  - Kai Xu
AU  - Bo Tang
AU  - Junying Li
AU  - Yiting Yun
AU  - Peng Zhang
AU  - Yingchun Wu
AU  - Kangjian Bao
AU  - Kunhao Lei
AU  - Zequn Chen
AU  - Hui Ma
AU  - Chunlei Sun
AU  - Ruonan Liu
AU  - Ming Li
AU  - Lan Li
AU  - Hongtao Lin
PY  - 2023
UR  - https://arxiv.org/abs/2308.15723
ID  - 2308.15723
ER  -