TY - RPRT TI - Atomistic insights into ultrafast SiGe nanoprocessing AU - Gaetano Calogero AU - Domenica Raciti AU - Damiano Ricciarelli AU - Pablo Acosta-Alba AU - Fuccio Cristiano AU - Richard Daubriac AU - Remi Demoulin AU - Ioannis Deretzis AU - Giuseppe Fisicaro AU - Jean-Michel Hartmann AU - Sébastien Kerdilès AU - Antonino La Magna PY - 2023 DO - 10.1021/acs.jpcc.3c05999 UR - https://arxiv.org/abs/2309.02909 ID - 2309.02909 ER -