TY  - RPRT
TI  - Millimeter Wave Thin-Film Bulk Acoustic Resonator in Sputtered Scandium Aluminum Nitride
AU  - Sinwoo Cho
AU  - Omar Barrera
AU  - Pietro Simeoni
AU  - Emily N. Marshall
AU  - Jack Kramer
AU  - Keisuke Motoki
AU  - Tzu-Hsuan Hsu
AU  - Vakhtang Chulukhadze
AU  - Matteo Rinaldi
AU  - W. Alan Doolittle
AU  - Ruochen Lu
PY  - 2023
DO  - 10.1109/jmems.2023.3321284
UR  - https://arxiv.org/abs/2309.03135
ID  - 2309.03135
ER  -