TY  - RPRT
TI  - Anneal-free ultra-low loss silicon nitride integrated photonics
AU  - Debapam Bose
AU  - Mark W. Harrington
AU  - Andrei Isichenko
AU  - Kaikai Liu
AU  - Jiawei Wang
AU  - Zachary L. Newman
AU  - Daniel J. Blumenthal
PY  - 2024
DO  - 10.1038/s41377-024-01503-4
UR  - https://arxiv.org/abs/2309.04070
ID  - 2309.04070
ER  -