TY  - RPRT
TI  - Development of a Selective Wet-Chemical Etchant for 3D Structuring of Silicon via Nonlinear Laser Lithography
AU  - Mona Zolfaghari Borra
AU  - Behrad Radfar
AU  - Hisham Nasser
AU  - Tahir Çolakoğlu
AU  - Onur Tokel
AU  - Ahmet Turnalı
AU  - Merve Demirtaş
AU  - Hande Ustunel
AU  - Daniele Toffoli
AU  - F. Ömer İlday
AU  - Raşit Turan
AU  - Ihor Pavlov
AU  - Alpan Bek
PY  - 2023
UR  - https://arxiv.org/abs/2309.12328
ID  - 2309.12328
ER  -