TY - RPRT TI - Quantifying the performances of SU-8 microfluidic devices: high liquid water tightness, long-term stability, and vacuum compatibility AU - Said Pashayev AU - Romain Lhermerout AU - Christophe Roblin AU - Eric Alibert AU - Jérôme Barbat AU - Rudy Desgarceaux AU - Rémi Jelinek AU - Edouard Chauveau AU - Saïd Tahir AU - Vincent Jourdain AU - Rasim Jabbarov AU - Francois Henn AU - Adrien Noury PY - 2023 UR - https://arxiv.org/abs/2310.06472 ID - 2310.06472 ER -