TY  - RPRT
TI  - Isotropic atomic layer etching of MgO-doped lithium niobate using sequential exposures of H$_2$ and SF$_6$ plasmas
AU  - Ivy I. Chen
AU  - Jennifer Solgaard
AU  - Ryoto Sekine
AU  - Azmain A. Hossain
AU  - Anthony Ardizzi
AU  - David S. Catherall
AU  - Alireza Marandi
AU  - James R. Renzas
AU  - Frank Greer
AU  - Austin J. Minnich
PY  - 2024
UR  - https://arxiv.org/abs/2310.10592
ID  - 2310.10592
ER  -