TY  - RPRT
TI  - Al$_3$Sc thin films for advanced interconnect applications
AU  - Jean-Philippe Soulié
AU  - Kiroubanand Sankaran
AU  - Valeria Founta
AU  - Karl Opsomer
AU  - Christophe Detavernier
AU  - Joris Van de Vondel
AU  - Geoffrey Pourtois
AU  - Zsolt Tőkei
AU  - Johan Swerts
AU  - Christoph Adelmann
PY  - 2024
DO  - 10.1016/j.mee.2024.112141
UR  - https://arxiv.org/abs/2310.20485
ID  - 2310.20485
ER  -