TY  - RPRT
TI  - Fabrication of quantum emitters in aluminium nitride by Al-ion implantation and thermal annealing
AU  - E. Nieto Hernández
AU  - H. B. Yağcı
AU  - V. Pugliese
AU  - P. Aprà
AU  - J. K. Cannon
AU  - S. G. Bishop
AU  - J. Hadden
AU  - S. Ditalia Tchernij
AU  - Olivero
AU  - A. J. Bennett
AU  - J. Forneris
PY  - 2023
DO  - 10.1063/5.0185534
UR  - https://arxiv.org/abs/2310.20540
ID  - 2310.20540
ER  -