TY  - RPRT
TI  - Silicon Implantation and Annealing in $β$-Ga$_2$O$_3$: Role of Ambient, Temperature, and Time
AU  - K. R. Gann
AU  - N. Pieczulewski1
AU  - C. A. Gorsak
AU  - K. Heinselman
AU  - T. J. Asel
AU  - B. A. Noesges
AU  - K. T. Smith
AU  - D. M. Dryden
AU  - H. G. Xing
AU  - H. P. Nair
AU  - D. A. Muller
AU  - M. O. Thompson
PY  - 2023
UR  - https://arxiv.org/abs/2311.00821
ID  - 2311.00821
ER  -