TY  - RPRT
TI  - Near 6 GHz Sezawa Mode Surface Acoustic Wave Resonators using AlScN on SiC
AU  - Xingyu Du
AU  - Nishant Sharma
AU  - Zichen Tang
AU  - Chloe Leblanc
AU  - Deep Jariwala
AU  - Roy H. Olsson III
PY  - 2023
UR  - https://arxiv.org/abs/2311.08694
ID  - 2311.08694
ER  -