TY  - RPRT
TI  - A high-efficiency programmable modulator for extreme ultraviolet light with nm feature size based on an electronic phase transition
AU  - Igor Vaskivskyi
AU  - Anze Mraz
AU  - Rok Venturini
AU  - Gregor Jecl
AU  - Yevhenii Vaskivskyi
AU  - Riccardo Mincigrucci
AU  - Laura Foglia
AU  - Dario De Angelis
AU  - Jacopo-Stefano Pelli-Cresi
AU  - Ettore Paltanin
AU  - Danny Fainozzi
AU  - Filippo Bencivenga
AU  - Claudio Masciovecchio
AU  - Dragan Mihailovic
PY  - 2023
DO  - 10.1038/s41566-024-01389-z
UR  - https://arxiv.org/abs/2311.08809
ID  - 2311.08809
ER  -