TY  - RPRT
TI  - Plasma sheath tailoring by a magnetic field for three-dimensional plasma etching
AU  - E. Jüngling
AU  - S. Wilczek
AU  - T. Mussenbrock
AU  - M. Böke
AU  - A. von Keudell
PY  - 2023
UR  - https://arxiv.org/abs/2311.08916
ID  - 2311.08916
ER  -