TY  - RPRT
TI  - Properties of Nb\_xTi\_{(1-x)}N thin films deposited on 300 mm silicon wafers for upscaling superconducting digital circuits
AU  - Daniel Pérez Lozano
AU  - Jean-Philippe Soulié
AU  - Blake Hodges
AU  - Xiaoyu Piao
AU  - Sabine O'Neal
AU  - Anne-Marie Valente-Feliciano
AU  - Quentin Herr
AU  - Zsolt Tőkei
AU  - Min-Soo Kim
AU  - Anna Herr
PY  - 2023
DO  - 10.1088/1361-6668/ad4b61
UR  - https://arxiv.org/abs/2311.09772
ID  - 2311.09772
ER  -