TY  - RPRT
TI  - Non-destructive depth reconstruction of Al-Al$_2$Cu layer structure with nanometer resolution using extreme ultraviolet coherence tomography
AU  - Johann Jakob Abel
AU  - Jonathan Apell
AU  - Felix Wiesner
AU  - Julius Reinhard
AU  - Martin Wünsche
AU  - Nadja Felde
AU  - Gabriele Schmidl
AU  - Jonathan Plentz
AU  - Gerhard G. Paulus
AU  - Stephanie Lippmann
AU  - Silvio Fuchs
PY  - 2023
UR  - https://arxiv.org/abs/2311.10743
ID  - 2311.10743
ER  -