TY  - RPRT
TI  - Millimeter Wave Thin-Film Bulk Acoustic Resonator in Sputtered Scandium Aluminum Nitride Using Platinum Electrodes
AU  - Sinwoo Cho
AU  - Omar Barrera
AU  - Pietro Simeoni
AU  - Ellie Y. Wang
AU  - Jack Kramer
AU  - Vakhtang Chulukhadze
AU  - Joshua Campbell
AU  - Matteo Rinaldi
AU  - Ruochen Lu
PY  - 2023
DO  - 10.1109/mems58180.2024.10439299
UR  - https://arxiv.org/abs/2311.13448
ID  - 2311.13448
ER  -