TY - RPRT TI - Vacuum levitation and motion control on chip AU - Bruno Melo AU - Marc T. Cuairan AU - Gregoire F. M. Tomassi AU - Nadine Meyer AU - Romain Quidant PY - 2023 DO - 10.1038/s41565-024-01677-3 UR - https://arxiv.org/abs/2311.14016 ID - 2311.14016 ER -