TY  - RPRT
TI  - Sputtered NbN Films for Ultrahigh Performance Superconducting Nanowire Single-Photon Detectors
AU  - Ilya A. Stepanov
AU  - Aleksandr S. Baburin
AU  - Danil V. Kushnev
AU  - Evgeniy V. Sergeev
AU  - Oksana I. Shmonina
AU  - Aleksey R. Matanin
AU  - Vladimir V. Echeistov
AU  - Ilya A. Ryzhikov
AU  - Yuri V. Panfilov
AU  - Ilya A. Rodionov
PY  - 2023
DO  - 10.1063/5.0188420
UR  - https://arxiv.org/abs/2311.17000
ID  - 2311.17000
ER  -