TY  - RPRT
TI  - Local laser-induced solid-phase recrystallization of phosphorus-implanted Si/SiGe heterostructures for contacts below 4.2 K
AU  - Malte Neul
AU  - Isabelle V. Sprave
AU  - Laura K. Diebel
AU  - Lukas G. Zinkl
AU  - Florian Fuchs
AU  - Yuji Yamamoto
AU  - Christian Vedder
AU  - Dominique Bougeard
AU  - Lars R. Schreiber
PY  - 2023
DO  - 10.1103/physrevmaterials.8.043801
UR  - https://arxiv.org/abs/2312.06267
ID  - 2312.06267
ER  -