TY  - RPRT
TI  - Plasma-Based Etching Approach for GEM Detector Microfabrication at FBK for X-ray polarimetry in space
AU  - A. Lega
AU  - D. Novel
AU  - T. Facchinelli
AU  - C. Sgro'
AU  - L. Baldini
AU  - M. Minuti
AU  - M. Boscardin
AU  - G. Pepponi
AU  - R. Iuppa
AU  - R. Hall-Wilton
AU  - L. Latronico
PY  - 2024
UR  - https://arxiv.org/abs/2312.07108
ID  - 2312.07108
ER  -