TY  - RPRT
TI  - Plasma-enhanced atomic layer deposition of titanium nitride for superconducting devices
AU  - John Femi-Oyetoro
AU  - Sasha Sypkens
AU  - Henry LeDuc
AU  - Matthew Dickie
AU  - Andrew Beyer
AU  - Peter Day
AU  - Frank Greer
PY  - 2023
UR  - https://arxiv.org/abs/2312.09984
ID  - 2312.09984
ER  -