TY  - RPRT
TI  - Annealing reduces Si$_3$N$_4$ microwave-frequency dielectric loss in superconducting resonators
AU  - Sarang Mittal
AU  - Kazemi Adachi
AU  - Nicholas E. Frattini
AU  - Maxwell D. Urmey
AU  - Sheng-Xiang Lin
AU  - Alec L. Emser
AU  - Cyril Metzger
AU  - Luca Talamo
AU  - Sarah Dickson
AU  - David Carlson
AU  - Scott B. Papp
AU  - Cindy A. Regal
AU  - Konrad W. Lehnert
PY  - 2024
DO  - 10.1103/physrevapplied.21.054044
UR  - https://arxiv.org/abs/2312.13504
ID  - 2312.13504
ER  -