TY  - RPRT
TI  - Tuning dissipation dilution in 2D material resonators by MEMS-induced tension
AU  - M. P. F. Wopereis
AU  - N. Bouman
AU  - S. Dutta
AU  - P. G. Steeneken
AU  - F. Alijani
AU  - G. J. Verbiest
PY  - 2024
DO  - 10.1063/5.0203122
UR  - https://arxiv.org/abs/2401.07047
ID  - 2401.07047
ER  -