TY  - RPRT
TI  - Grayscale Electron Beam Lithography Direct Patterned Antimony Sulfide
AU  - Wei Wang
AU  - Uwe Hübner
AU  - Tao Chen
AU  - Anne Gärtner
AU  - Joseph Köbel
AU  - Franka Jahn
AU  - Henrik Schneidwind
AU  - Andrea Dellith
AU  - Jan Dellith
AU  - Torsten Wieduwilt
AU  - Matthias Zeisberger
AU  - Tanveer Ahmed Shaik
AU  - Astrid Bingel
AU  - Markus A Schmidt
AU  - Jer-Shing Huang
AU  - Volker Deckert
PY  - 2024
UR  - https://arxiv.org/abs/2401.13427
ID  - 2401.13427
ER  -