TY - RPRT TI - Quantum Emitters in Aluminum Nitride Induced by Zirconium Ion Implantation AU - Alexander Senichev AU - Zachariah O. Martin AU - Yongqiang Wang AU - Owen M. Matthiessen AU - Alexei Lagutchev AU - Han Htoon AU - Alexandra Boltasseva AU - Vladimir M. Shalaev PY - 2024 DO - 10.1063/5.0199647 UR - https://arxiv.org/abs/2401.14631 ID - 2401.14631 ER -