TY - RPRT TI - Wideband, Efficient AlScN-Si Acousto-Optic Modulator in a Commercially Available Silicon Photonics Process AU - Mertcan Erdil AU - Izhar AU - Yang Deng AU - Zichen Tang AU - Mohamad Hossein Idjadi AU - Farshid Ashtiani AU - Firooz Aflatouni AU - Roy Olsson III PY - 2024 UR - https://arxiv.org/abs/2402.01127 ID - 2402.01127 ER -