TY  - RPRT
TI  - Numerical investigation of vacuum ultra-violet emission in Ar/O$_2$ inductively coupled plasmas
AU  - Michel Osca Engelbrecht
AU  - Jonathan Jenderny
AU  - Henrik Hylla
AU  - Dominik Filla
AU  - Peter Awakowicz
AU  - Ihor Korolov
AU  - Christopher P. Ridgers
AU  - Andrew R. Gibson
PY  - 2024
UR  - https://arxiv.org/abs/2402.08092
ID  - 2402.08092
ER  -