TY - RPRT TI - Multi-State, Ultra-thin, BEOL-Compatible AlScN Ferroelectric Diodes AU - Kwan-Ho Kim AU - Zirun Han AU - Yinuo Zhang AU - Pariasadat Musavigharavi AU - Jeffrey Zheng AU - Dhiren K. Pradhan AU - Eric A. Stach AU - Roy H. Olsson III AU - Deep Jariwala PY - 2024 UR - https://arxiv.org/abs/2403.12361 ID - 2403.12361 ER -