TY  - RPRT
TI  - CMOS-compatible photonic integrated circuits on thin-film ScAlN
AU  - Sihao Wang
AU  - Veerendra Dhyani
AU  - Sakthi Sanjeev Mohanraj
AU  - Xiaodong Shi
AU  - Binni Varghese
AU  - Wing Wai Chung
AU  - Ding Huang
AU  - Zhi Shiuh Lim
AU  - Qibin Zeng
AU  - Huajun Liu
AU  - Xianshu Luo
AU  - Victor Leong
AU  - Nanxi Li
AU  - Di Zhu
PY  - 2024
DO  - 10.1063/5.0208517
UR  - https://arxiv.org/abs/2403.14212
ID  - 2403.14212
ER  -