TY  - RPRT
TI  - Bessel-beam direct-write of the etch-mask in a nano-film of alumina for high-efficiency Si solar cells
AU  - Tomas Katkus
AU  - Soon Hock Ng
AU  - Haoran Mu
AU  - Nguyen Hoai An Le
AU  - Dominyka Stonyte
AU  - Zahra Khajehsaeidimahabadi
AU  - Gediminas Seniutinas
AU  - Justas Baltrukonis
AU  - Orestas Ulcinas
AU  - Mindaugas Mikutis
AU  - Vytautas Sabonis
AU  - Yoshiaki Nishijima
AU  - Michael Rienacker
AU  - Jan Krugener
AU  - Robby Peibst
AU  - Sajeev John
AU  - Saulius Juodkazis
PY  - 2024
UR  - https://arxiv.org/abs/2403.14237
ID  - 2403.14237
ER  -