TY  - RPRT
TI  - Surface figure correction using differential deposition of WSi$_2$
AU  - Ch. Morawe
AU  - P. Bras
AU  - S. Labouré
AU  - F. Perrin
AU  - A. Vivo
PY  - 2024
DO  - 10.1117/12.2676633
UR  - https://arxiv.org/abs/2403.17498
ID  - 2403.17498
ER  -