TY  - RPRT
TI  - The Simons Observatory: Production-level Fabrication of the Mid- and Ultra-High-Frequency Wafers
AU  - Shannon M. Duff
AU  - Jason Austermann
AU  - James A. Beall
AU  - David P. Daniel
AU  - Johannes Hubmayr
AU  - Greg C. Jaehnig
AU  - Bradley R. Johnson
AU  - Dante Jones
AU  - Michael J. Link
AU  - Tammy J. Lucas
AU  - Rita F. Sonka
AU  - Suzanne T. Staggs
AU  - Joel Ullom
AU  - Yuhan Wang
PY  - 2024
UR  - https://arxiv.org/abs/2403.18225
ID  - 2403.18225
ER  -