TY  - RPRT
TI  - Non-Destructive, High-Resolution, Chemically Specific, 3D Nanostructure Characterization using Phase-Sensitive EUV Imaging Reflectometry
AU  - Michael Tanksalvala
AU  - Christina L. Porter
AU  - Yuka Esashi
AU  - Bin Wang
AU  - Nicholas W. Jenkins
AU  - Zhe Zhang
AU  - Galen P. Miley
AU  - Joshua L. Knobloch
AU  - Brendan McBennett
AU  - Naoto Horiguchi
AU  - Sadegh Yazdi
AU  - Jihan Zhou
AU  - Matthew N. Jacobs
AU  - Charles S. Bevis
AU  - Robert M. Karl Jr.
AU  - Peter Johnsen
AU  - David Ren
AU  - Laura Waller
AU  - Daniel E. Adams
AU  - Seth L. Cousin
AU  - Chen-Ting Liao
AU  - Jianwei Miao
AU  - Michael Gerrity
AU  - Henry C. Kapteyn
AU  - Margaret M. Murnane
PY  - 2024
DO  - 10.1126/sciadv.abd9667
UR  - https://arxiv.org/abs/2404.02170
ID  - 2404.02170
ER  -